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電子防潮箱自產氮氮氣柜工業精密烘箱環境試驗箱非標定制升級維修服務其他
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電子防潮箱自產氮氮氣柜工業精密烘箱環境試驗箱非標定制升級維修服務其他
適用于半導體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤，硬烤，電鍍工藝，采用SUS304潔凈不銹鋼材質，進口超高效H.E.P.A過濾器，自動開關風門結構，通過內部不斷循環過濾，不斷過濾內部partical快速形成無氧潔凈環境，機臺采用大功率三相靜音低震動馬達，不銹鋼渦輪扇葉，獨特設計渦輪結構，結合雙循環風道，形成風量均勻的循環熱風，實現高潔凈，溫度均勻的無氧烘烤環境，確保烘烤物料受熱均勻，無氧化現象發生。
| 設備型號 | FDC-2 | FDC-3 | FDC-4 | FDC-5 | FDC-2D | FDC-3D |
| 控溫范圍 | 50~200℃(最高可訂制400℃） | |||||
| 溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||
| 溫度波動度 | ±0.5℃ | |||||
| 溫度均勻度 | ±1.5%（200℃恒溫空載測試數據） | |||||
| 潔凈度 | class10/100/1000 | |||||
| 過濾器效率 | H13~H14 | |||||
| 內部尺寸mm | W600*D500*H600 | W600*D500*H900 | W800*D600*H1000 | W800*D800*H1000 | (W600*D600*H500)*2箱 | (W400*D400*H400)*3箱 |
| 外部尺寸mm | W950*D1180*H1410 | W950*D1180*H1710 | W1060*D1280*H1810 | W1060*D1480*H1660 | W1630*D1220*H1780 | W1430*D1020*H1880 |
| 層架 | 2PCS | 4PCS | ||||
| 電源 | AC 220V 50HZ | AC 380V 50HZ | ||||
| 功率 | 7KW | 9KW | 12KW | 16KW | 16KW | 18KW |
| 定時范圍 | 0~99H/M/S | |||||
| 送風方式 | 單向水平送風 | |||||
| 升溫時間 | RT~200℃約20min | |||||
| 控溫方式 | P.I.D | |||||
| 結構設計 | 單門，控制柜位于頂部 | 多倉，控制柜位于側面 | ||||
| 內部材料 | SUS304# | |||||
| 外部材料 | 鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼 | |||||
| 安全保護措施 | 1.接地保護 2.過載保護3. 相序保護 4.超溫保護 5. 獨立限溫保護 | |||||
| 選配 | 7寸觸摸屏HMI人機界面控制器（帶歷史曲線，USB轉存儲功能，配套PC端軟件及聯網端口），φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔 電磁門禁系統，溫度校準，非標訂制服務。 |
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